だ円振動型リニアマイクロフィーダ

第１報 構造と動作原理

抄録

板ばねを芯材として一体構造で構成するだ円振動型リニアマイクロフィーダの構造と動作原理について述べる。ピエゾアクチュエータを板ばねとして水平および垂直振動成分をそれぞれ独立に発生することでだ円振動を得る。また、アクチュエータの駆動電圧と相互の駆動位相差を制御することで、だ円振動の軌道の操作が可能となり、搬送速度や方向が自在に調節可能となる。本研究ではだ円振動が発生可能なモデルの考案と試作品について報告する。