3D-MEMS 光スイッチモジュールの耐環境基本特性の評価

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: K15

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主催: 公益社団法人精密工学会

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キーワード: MEMS, 光スイッチ, 信頼性

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抄録

3D-MEMS光スイッチに求められる耐環境特性のうち，機械的特性である振動特性，温度特性，ＥＭＣ特性に関して，通信モジュールに求められる設計指針を示した．試作モジュールによる評価を行った結果，良好な特性を示すことを確認し，実用的な光モジュール実現の見通しを得た．