機上成形亜鉛合金電極を用いたSi₃N₄セラミックスの放電加工

抄録

本研究では，成形プレートに揺動運動を付与した微細軸の縮小成形法により，亜鉛合金電極の多角形を含む微細軸成形を試みた。この微細軸による絶縁性Si₃N₄セラミックスの多数穴加工を行い，本手法の有効性を検討した。