光学ガラスの表面研磨特性に及ぼす研磨スラリー濃度の影響

抄録

レアアースの価格の高騰により，光学ガラスの研磨加工にコスト高をもたらしている．本研究は，研磨剤(主成分がCeO₂)を削減するために行ったものである．本研究において，研磨スラリーの濃度と研磨速度および研磨面の平滑度との関係について実験的な検討を行った．その結果，研磨スラリーは，5wt%から20wt%までは研磨速度および研磨面に大きく影響を与えない．