分散剤によるガラス系材料用研磨スラリーの分散・凝集状態と研磨特性について

抄録

ガラス系材料用研磨スラリーに対し，数種類性質の異なる分散剤を用いセリア砥粒やポリマ微粒子の分散・凝集状態及び研磨特性への影響を調査し，分散・凝集状態と研磨能率の関係を検討した．本報ではこうした影響ならびにその原因分析とメカニズム解明の可能性を報告する．