硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

荒木 大秀; 古城 直道; 山口 智実; 松森 昇; 尾倉 秀一

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.761.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: M14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.761.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

硫酸バリウム含有メカノケミカル複合超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

*荒木大秀, 古城直道, 山口智実, 松森昇, 尾倉秀一

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キーワード: 超仕上, 単結晶シリコン, メカノケミカル超砥粒砥石, 硫酸バリウム, 耐摩耗性

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抄録

本研究では，化学的作用を持つ軟質な硫酸バリウムをダイヤモンド砥粒と共にビトリファイドボンド結合剤で固定砥粒化したメカノケミカル複合超砥粒砥石を用いて，単結晶シリコンの超仕上性能を調べた．その結果，メカノケミカル複合超砥粒砥石は，従来のダイヤモンド超砥粒砥石および硫酸バリウムを固定砥粒化した砥石よりも耐摩耗性および目直し間寿命に優れ，1分の超仕上で約12nmRaの粗さを得られることが明らかになった．

責任著者(Corresponding author)

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