第１原理計算による研磨機構の基礎的検討

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: M15

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主催: 公益社団法人精密工学会

第１原理計算による研磨機構の基礎的検討

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キーワード: 第1原理, バンド計算, 研磨

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抄録

無擾乱鏡面の創成において，化学的作用を用いた研磨加工は必要不可欠である．しかしながら，その研磨現象を実験的に明確にするのは困難である．そこで本研究では，第1原理バンド計算の適応を試みた．