精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会秋季大会
セッションID: M33
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周期局在光を用いたサブナノ粒子トラップシステム
*滝 直也水谷 康弘岩田 哲郎小嶋 崇夫古澤 孝弘
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抄録
サブナノ粒子を微小領域で非接触駆動させたいという要求がある.しかし,従来の非接触光駆動法ではサブナノ粒子の効率的な捕捉は困難である.また,回折限界により捕捉したサブナノ粒子を観測することも困難である.そこで,シリコン基板上に微細加工によってナノ周期構造を設け,周期的な局在光を発生させサブナノ粒子を捕捉する.また,捕捉したサブナノ粒子を偏光解析法により検出するサブナノ粒子トラップシステムを提案する.
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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