精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会秋季大会
セッションID: M32
会議情報

局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第一報)
酸化チタン光触媒ナノ粒子による微細除去加工基本機能の検証
*関野 貴宏高橋 哲高増 潔
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
コストの効率的利用を目指した生産システムの小型化や,マイクロな母材に対する修正加工・微細加工への要求が今後高まると考えられる.本研究では微小セル内において微細構造の加工・製造を行う「セルインマイクロファクトリ」を提案する.第一段階として,加工機能の工具開発を目的として,酸化チタンナノ粒子を光励起型工具チップとする新しい加工プロセスの実現を目指し,その基礎機能発現の可能性について実験的検討を行う.
著者関連情報
© 2011 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top