局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第一報)

酸化チタン光触媒ナノ粒子による微細除去加工基本機能の検証

抄録

コストの効率的利用を目指した生産システムの小型化や，マイクロな母材に対する修正加工・微細加工への要求が今後高まると考えられる．本研究では微小セル内において微細構造の加工・製造を行う「セルインマイクロファクトリ」を提案する．第一段階として，加工機能の工具開発を目的として，酸化チタンナノ粒子を光励起型工具チップとする新しい加工プロセスの実現を目指し，その基礎機能発現の可能性について実験的検討を行う．