コヒーレント光照射によるスルーホール内壁の簡易検査手法の検討

抄録

家電製品などに使われるプリント基板のスルーホール内壁の仕上り精度は，製品の故障の原因に繋がりメッキ表面にメッキこぶやボイドなどの凸凹が存在すると，電子部品の設置不良や電気断線を起こす恐れがある．これらを簡便かつ高速に検査する方法が求められている．本報告ではコヒーレント光を物体に入射した際，後方に生じる回折像を活用したスルーホール内壁のなだらかな断線の検出に関する実験的検証を報告する．