抄録
2本のシングルモード光ファイバを点光源としたPS/PDI (Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) は、光源位置の自由度が高いため、非球面量の大きいミラーであっても、結像光学系を用いずに計測対象の情報のみを含んだ干渉縞を生成できる。さらに、デジタルホログラフィによる波面解析を行うことによってミラー形状をより高精度に得ることができる。本報では、光ファイバの保持方法の違いによるノイズについて調査し、PS/PDIによる球面形状計測の精度について検討した。
