精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会秋季大会
セッションID: M75
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改良型サンダーズ法によるラテラルシアリング干渉縞の解析法
グラフ理論を用いた表記法の検討
*両國 雅俊神谷 和秀野村 俊松本 公久田代 発造鈴木 伸哉
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抄録
サンダーズ法は、ラテラルシアリング干渉縞が差分情報であることを利用し、簡単なアルゴリズムでシア量間隔に干渉縞を解析する方法である。これまでに、シア量間隔で解析されたデータの合成に近似が行われることが問題となり、複数のシア量による干渉縞を用いた改良型サンダーズ法を提案している。本報告では、改良型サンダーズ法の解析手順をグラフ理論によって表現することを試みたので、その結果について述べる。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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