超音波を利用した三次元接触センサの開発

抄録

プラスチック成型用金型や精密切削加工品の加工機上における三次元測定おいては、光沢面にも対応でき、カーボンや微細な金属屑による誤検出がなく、プローブの接触検出の繰り返し精度が高いセンサが要求されている。また、細溝形状の測定に対応したアスペクト比の高いプローブへの要求がある。本報告では、上述の要求を踏まえた振動型の接触センサを試作し、その接触検出の繰り返し精度及び接触力を計測した内容について報告する。