マイクロ形状検査のための高解像度デジタルリフォーカス顕微観察

結像光路制御とマイクロレンズアレイを用いた超解像・超被写界深度化の提案

抄録

本研究は，サブピクセル超解像とデジタルリフォーカスを光学顕微鏡に応用し，三次元光学顕微鏡を開発することを目的としている．従来の光学顕微鏡には，面内空間分解能と被写界深度にトレードオフが存在するため，詳細な三次元情報を取得するのが困難であった．そこで，結像光路制御とマイクロレンズアレイを用いて超解像度化・超被写界深度化する手法を提案する．基礎実験により有効性を検討したので報告する．