MEMS実用化への道程（キーノートスピーチ）

抄録

現在、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術によって実現されるデバイスが急速な勢いで実用化、一般化しており、もはやMEMS技術は電子デバイスの基本技術のひとつと位置づけられるようになった。しかしながら、商用となりうるMEMSデバイスを実現することはいろいろな面で難しさがある。本稿では、市場で成功した（している）MEMSデバイスの例をいくつか挙げ、その歴史および技術的先進性を示すことによって商用化、実用化へのキーポイントを検討する。