三角測量式光スキッドセンサの高精度化

抄録

機上において，センサと工作物との相対的な振動は，測定誤差を引き起こす．これに対し，本研究室では，三角測法に光スキッド機能を付与したセンサを提案し，振動除去の有効性を確認してきた．本研究では，スポット長軸をエッジ面に対して垂直な場合において，センサの送り方向が段差測定に与える影響と，測定面の傾斜が測定感度に与える影響について実験的に検討した結果を報告する．