レーザ光を用いたスルーホールの形状情報の検出（？？）

抄録

家電製品などに使われているプリント基板のスルーホール内壁の仕上り精度は，製品の故障の原因に繋がる事がある．スルーホールのメッキ表面にめっきこぶやボイドなどの凸凹が存在すると，電子部品の設置不良や断線を起こす恐れがある．これらを高速かつ簡便に検査する方法が求められている．本報告ではレーザ光を物体に入射した際，後方に生じる回折像が含む情報がスルーホール内壁の状態を検査するのに有効であることを報告する．