光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究（第５報） 創製構造体の気相下観察に基づく加工特性の解析

吉越 久倫; 関野 貴宏; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.1069.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: O80

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.1069.0

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主催: 社団法人精密工学会

光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究（第５報）

創製構造体の気相下観察に基づく加工特性の解析

*吉越久倫, 関野貴宏, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: 微細加工, 光造形, 三次元構造, 光触媒, 金属構造, MEMS

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抄録

本研究は3次元金属微細構造を創製することを試みるものである．光触媒ナノ粒子と金属イオンを含む水溶液との混合液中において，レーザスポットを走査することにより，スポットの軌跡上に光触媒ナノ粒子と還元析出した金属粒子からなる構造物が創製される．これを超臨界乾燥法により気相下に取り出し，詳細な観察を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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