エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第13報） 面内形状制御同期積層実験

長野 敏宗; 大嶋 崇良; 梶原 優介; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.1071.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: O81

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.1071.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第13報）

面内形状制御同期積層実験

*長野敏宗, 大嶋崇良, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: エバネッセント光, ナノ光造形法, 積層

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抄録

本研究では，サブミクロンの加工形状分解能を可能とするエバネッセント光を用いたナノ光造形法の確立を目指している．本手法ではエバネッセント光の特性を活かすことで伝搬光では困難なサブミクロン厚さでの積層造形の可能性がある．本報では，動的マスクを用いて面内形状制御を行った硬化物の積層実験を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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