窒化アルミニウムを用いたレーザ配線作製技術に関する研究（第二報）

抄録

窒化アルミニウムは高い熱伝導率、電気絶縁性を有しており主にヒートシンクや回路基板などに使用されている。もし，窒化アルミニウムにレーザを照射することで熱分解が起こりアルミ配線が形成できれば有益である．そこで，これまでにレーザ配線技術の開発を試み，その可能性を確認した．本報ではさらに低抵抗なアルミ配線の実現を目指し，レーザ種の選定，加工条件などを検討したので報告する．