超硬のフェムト秒レーザー加工の高速イメージング観察

抄録

フェムト秒レーザーによる加工は熱影響を伴わないため高精度・高品質な加工が可能とされるが，加工条件によっては加工面にデブリの堆積が生じることがある．そこで，良好な加工条件を求めることを目的として，レーザーと高速度カメラを組み合わせた高速撮影システムによる，加工現象の可視化を行った．超硬合金を加工対象として，パルスエネルギー，焦点位置及び偏光が，加工の進展及びデブリの排出挙動に及ぼす影響を観察した．