YAG高調波における半導体材料の微細加工特性とその現象の検討

抄録

レーザ加工は様々な用途に適用されている．しかし，その加工原理は未だ解明されていない部分も多く残る．そこで本研究では高脆性材料に対し，YAG基本波とその高調波を用いて加工を行い，高速度カメラを使用し加工中の現象を観察した．これらの加工特性と現象を考察し，レーザ光の波長と圧力雰囲気が及ぼす影響について検討した．その結果，加工中に発生するプラズマは波長および圧力雰囲気に起因することが明らかとなった．