PMMAの三次元形状加工に向けたエキシマレーザアブレーションの加工特性

小倉 康平; 田中 智久; 齋藤 義夫; 朱 疆

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.125.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: B39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.125.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

PMMAの三次元形状加工に向けたエキシマレーザアブレーションの加工特性

*小倉康平, 田中智久, 齋藤義夫, 朱疆

著者情報

キーワード: レーザ加工, エキシマレーザ, レーザアブレーション, アクリル樹脂, 三次元

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

様々な条件におけるPMMAに対するエキシマレーザアブレーションの加工特性を，理論と実験の両面から検討した．その結果，波長248nmのエキシマレーザを用いるよりも，波長193nmのエキシマレーザを用いた方が材料への熱影響が少なく，高精度で高品位なPMMAの三次元形状加工が実現可能であることを示した．この結果を踏まえて，波長193nmのエキシマレーザを用いて加工実験を行い，三次元形状加工時の加工品質の向上を確認した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）