透明体材料の表面微細加工

抄録

工業的に有用な材料であり化学的にも安定な石英ガラス表面に自在に加工できることは、マイクロレンズの精密な型や表面流路などマイクロデバイスや生体医用光学の応用のためにも重要である。ガラスは透過率が非常に高く吸光度が悪いため表面の直接加工が難しく、加工時に発生する素材の蒸発および溶融物の飛散とその加工場近傍の表面への再付着によるデブリ対策がネックとなっている。本報は、その解決方法のひとつを提案する。