ステルスダイシングの内部改質層近傍における動径方向の亀裂進展解析

抄録

ステルスダイシングでは，内部改質層からウェハの表裏面方向に垂直に内部亀裂が伸びるが，内部改質層の極近傍では，レーザ走査方向からある程度角度をもった動径方向にも亀裂進展する可能性のあることを熱応力解析で明らかにした．分断面のボイド近辺に凹凸が見られるのはこのためと推測された．また，剪断応力は熱衝撃波の直上部で最大となることから，内部改質層(高転位密度層)は最高到達温度領域より幾分広いと推測された．