エキシマレーザによる高効率・高精度マイクロ金型作製

抄録

近年，マイクロテクノロジーは様々な分野への応用が期待されており，多くのマイクロ部品はコスト低減のため，微細転写加工による量産化技術が求められている．本研究では，型材料としてグラッシーカーボンを用い，エキシマレーザによる３D微細加工の検討を行った．その結果，アノード酸化処理によるアルミ薄膜をハーフトーンマスクとし，複数の微細突起形状を精度よく高効率に加工することができた．