精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: C43
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リニアモータ駆動・水静圧テーブルの開発
磁気バランサによる周期的ピッチングの改善
*由井 明紀熊谷 誠弥奥山 繁樹北嶋 孝之小林 久志Slocum Alexander
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抄録
リニアモータ駆動・水静圧テーブルを開発し,運動性能を評価した.試作テーブルは片側リセス方式の軸受で支持し,テーブル駆動用のリニアモータの磁気吸引力を用いてプリロードを与えている.磁気プレートには,永久磁石が等間隔で配置されているため,テーブル運動中の磁気吸引力が周期的に変化してピッチングが生じる.テーブル端面に磁性体を取り付け,磁気バランスを調整することにより,ピッチング角の最小化した.
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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