能動動圧軸受を組み込んだ高速・高精度エアースピンドルの開発

機構上の２，３の改良について

抄録

直径数mm以下小径回転工具を用いた精密・超精密加工への需要増加に対応するために高速・高精度エアースピンドルの開発に取り組んでいる。基本構想は静圧軸受に振動抑制のための能動動圧軸受を組み合わせたハイブリッド構造の採用である。本研究では、これまでにこの構想により試作されたエアースピンドルの性能解析を受けて実施した、駆動モータ、能動動圧軸受などへの改良の効果を検証している。