ツールセットを必要としないガラスの微細加工システム

抄録

脆性材料の微細加工において，小径工具と工作物の接触点の位置出しは作業者に依存する手間のかかる工程である．本研究では，制御系で加工力計測する加工力オブザーバを搭載した超精密加工システムを開発し，工具と工作物の接触点を自動検出して微細加工するシステムを構築した．工作物に接触するまでは早送りで，接触した瞬間に低送りに変化し加工することで，ツールセットなしで高効率にガラスの微細穴を形成することに成功した．