精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: D16
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セリア砥粒成分がガラス研磨に与える影響
*田中 雄一朗谷 泰弘一廼穂 直樹村田 順二張 宇
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キーワード: 酸化セリウム, 研磨, ガラス
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抄録
ガラスの鏡面研磨には高い研磨能率が得られることから、酸化セリウム(セリア)砥粒が一般的に用いられている。市販セリア砥粒には酸化セリウム以外の化合物が含有されており、それぞれの成分がガラスの水和膜形成やその水和膜の除去に寄与していると考えられている。本研究では、各種セリア砥粒に含まれる成分を定量分析し、それぞれの化合物がガラスの研磨特性に与える影響について評価を行った。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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