顕微鏡観察評価法によるガラス系材料用研磨スラリー諸特性の検討

盧 毅申; 土屋 健介

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.271.0

抄録

レーザ顕微鏡と大気圧SEMを用いた観察評価方法により，ガラス系材料用研磨スラリーに対し，液中の砥粒やポリマ微粒子の分散，凝集状態の確認と共に，研磨スラリーの沈降特性並びに研磨特性との関係を検討した．本報では影響因子として各種研磨スラリーにおける粒子濃度，分散剤濃度及び粒子種類などの影響を調査した結果を報告する．

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