エッチング援用のガラス研磨の加工特性

抄録

通常ガラス質の研磨は、 研磨剤の酸化セリウム砥粒が多量使用されているが、大型工作物の場合は加工液が中心部まで浸入しにくい、研磨後の洗浄が難しい等の問題があった．しかし、エッチング援用の方法は、工作物と工具の隙間が小さくても加工液が中心部まで浸入できることと研磨後の洗浄が楽になるため、加工コストの低減も可能となる． 本研究ではガラス質工作物に対してエッチング援用のガラス研磨の加工特性について報告する．