研磨パッドの表面状態と複合砥粒の研磨特性の関係

村田 順二; 谷 泰弘; 楊原 武; 山田 美幸; 張 宇

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.277.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: D19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.277.0

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主催: 社団法人精密工学会

研磨パッドの表面状態と複合砥粒の研磨特性の関係

*村田順二, 谷泰弘, 楊原武, 山田美幸, 張宇

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キーワード: 複合砥粒, 研磨パッド, 酸化セリウム, ガラス

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抄録

筆者らは酸化セリウム砥粒の使用量を低減する技術として有機無機複合砥粒の開発を行っている．これまでの研究により，複合砥粒をガラスの研磨に適応することにより，通常研磨と比較して１．５倍程度の高い研磨能率が得られることがわかっている．本研究では，市販されている各種研磨パッドを用い，パッド表面状態と複合砥粒の研磨特性の関係について評価した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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