エポキシ樹脂研磨パッドのコンディショニングの検討

抄録

ガラスの鏡面研磨材として使用されている酸化セリウムは希土類の酸化物である．酸化セリウムの使用量を低減するため従来使用されてきたウレタン樹脂研磨パッドより2倍ほど高い研磨能率を有するエポキシ樹脂研磨パッドが開発された。本報ではエポキシパッドの最適な表面状態を見いたすために、エポキシパッドのコンディショニング条件を変え、エポキシパッドの表面状態とカラスの除去能率との関連性について検討を行った。