エポキシ樹脂パッドによる研磨特性の加工条件依存性

抄録

筆者らは酸化セリウム砥粒の使用量を低減する技術として、エポキシ樹脂研磨パッドの開発を行っている。これまでの研究により、エポキシ樹脂研磨パッドを用いて硝子を研磨する事により、通常のウレタン研磨パッド使用時と比較して約２倍程度の高い研磨能率が得られ、更にジルコニウム等の他の砥粒を用いても研磨能率が高い事がわかっている。本研究ではエポキシ樹脂研磨パッドを用いて各種研磨条件と研磨特性の関係について評価した結果を報告する。