研磨パッドの表面処理による研磨特性の向上

抄録

本研究では，研磨パッド表面に対しコーティングなどの処理を行い，研磨特性の向上を図った．市販されている研磨パッド表面に樹脂等を含む薄膜をスプレー塗布などによりコーティングを施した．作製した研磨パッドを用い，ガラスの研磨実験を行った結果，無処理の研磨パッドと比較して，研磨能率の向上が確認された．また，コーティングする材料や方法の検討を行い，それぞれの研磨特性について評価した結果を報告する．