硫酸バリウムを含むメカノケミカル超砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上特性

抄録

本研究では，化学的作用を持つ軟質な硫酸バリウム(BaSO₄)砥粒をダイヤモンド砥粒と共にビトリファイドボンドで固定砥粒化したメカノケミカル超砥粒砥石を用いて，単結晶シリコンの超仕上特性を調べた．その結果，メカノケミカル超砥粒砥石の比損耗量は従来のダイヤモンド砥石のそれよりも減少し，耐摩耗性が向上した．さらに，目直し間寿命が長く，超仕上1分で約13nmRa以下の粗さを生成することが明らかになった．