カーボンオニオンの生成条件が砥粒性能に与える影響

抄録

カーボンオニオンには、シリコンやサファイア等の材料表面を研磨する能力があり、これら材料の精密研磨用砥粒として適用できる可能性がある。そこで、様々な粒径のカーボンブラックやダイヤモンドからカーボンオニオンを生成することで、原料の違いが研磨能力に与える影響を評価した。その結果、原料や粒径によらず表面粗さは同程度になるが、研磨面のスクラッチの有無に違いがあることがわかった。