コンディショニングによるポリシングパッド表面の微小変形特性の定量評価に関する基礎研究

抄録

本研究では各種コンディショニング条件が研磨パッドに及ぼす影響を明らかにすることを目的に，デジタル画像相関法を用いた研磨パッド表面における微小変形特性の非接触計測・評価法を提案した．本報告では当該測定法の概要を述べるとともに，基礎実験によって得られた検討結果について言及する．