精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会春季大会
セッションID: E18
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鉄系ペロブスカイト酸化物砥粒のガラス研磨特性に及ぼすCo 添加の影響
*本間 隆行須田 聖一川原 浩一木下 久美子
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抄録
セリア系砥粒によるガラス研磨時には、Ce3+/Ce4+の価数変化が関与すると考えられている。我々は、供給不安が指摘されているセリア系砥粒の代替として、Fe3+/Fe4+の価数変化が制御可能な鉄系ペロブスカイト酸化物(SeFeOx)に注目している。本研究ではSrFeOxのBサイトの一部をCoに置換した砥粒のガラス研磨特性について調べた。その結果、Co添加によって研磨速度が向上することが分かった。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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