電界砥粒制御技術を適用したガラス素材に対する高速加工技術について（？？）

抄録

高効率なガラス試料向け研磨技術を構築するために、従来の研磨技術に電界作用を付与する新しい研磨技術を検討している。今回は、電界によりスラリーの流れを制御することで、ガラス試料と研磨パッドの回転速度比を高めた研磨を可能とし、得られた摩擦熱で研磨界面の化学反応を促進させ、高い研磨レートを得られることを明らかにした。実験の結果、表面品位を維持しながら研磨レートを従来比約２倍に向上することを確認できた。