セリア砥粒のガラス研磨特性に及ぼす希土類元素固溶の影響

抄録

ガラスの研磨にはセリア系砥粒が使用されるが、このメカニズムについては不明な点が多い。我々は、既存砥粒に含まれる希土類元素が、酸化物として混合されているのではなく、酸化セリウム中に固溶していることに注目し、セリア系砥粒の研磨特性に及ぼす希土類元素固溶の影響を調べた。その結果、3価のカチオンを固溶することで研磨特性が向上するが、向上効果は元素の種類に依存することが明らかとなった。