EPD研磨砥石の作製および研磨特性に関する研究

辻本 浩平; 池野 順一; 澁谷 秀雄; 南部 洋平; 落合 一裕; 中山 将輝

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.369.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: E24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.369.0

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主催: 社団法人精密工学会

EPD研磨砥石の作製および研磨特性に関する研究

*辻本浩平, 池野順一, 澁谷秀雄, 南部洋平, 落合一裕, 中山将輝

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キーワード: ガラス, EPD, 固定砥粒研磨, セリア, アクリル樹脂

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抄録

半導体や光学機器等における鏡面仕上げ加工には，遊離砥粒による研磨加工が主に用いられており，形状精度，表面性状に優れている．一方，固定砥粒による研削加工は加工速度において研磨加工よりも優れている．そのため，本研究ではこれらの長所を活かした砥石の開発を行っている．本報ではアクリルボンドセリアEPD研磨砥石を開発し，ガラスを対象として研磨の性能評価を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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