ガラス研磨における砥粒の化学的作用の指標化

抄録

一般的に、化学的研磨作用と機械的研磨作用の混在により、ガラスの研磨が行われていると考えられている。電子機器用ガラスの研磨砥粒として用いられている酸化セリウムにおいては、化学的研磨作用が強いことにより良好な研磨特性が得られるとされている。酸化セリウム同様強い化学研磨作用を持つ代替砥粒を開発する一環として、研磨砥粒の化学的研磨作用の指標化を試みたので、ここに報告する。