超磁歪素子を用いた無脈動ポンプに関する研究

抄録

ナノメートルオーダの精度が求められる静圧軸受では流体加圧用ポンプの脈動による静圧軸受の運動精度への影響が大きく，さらなる高精度化を実現するために，脈動を低減することが重要となる．そこで本研究では，超磁歪素子を用いたレシプロ式無脈動ポンプを提案し，その吐出圧力特性および脈動を実験的に検討することにより，提案するポンプの性能および静圧軸受に対する有用性を確認することを目的とした．