長ストロークＸＹマイクロステージに関する研究 マイクロステージの設計と試作

金子 純史; ペン ユシン; 東 豊大; 高 偉; 丹羽 英二; 相澤 周二

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.477.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: F74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.477.0

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主催: 社団法人精密工学会

長ストロークＸＹマイクロステージに関する研究

マイクロステージの設計と試作

*金子純史, ペンユシン, 東豊大, 高偉, 丹羽英二, 相澤周二

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キーワード: 圧電素子, 弾性ヒンジ, 長ストローク, 磁石, 位置決め, 慣性力

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抄録

光学素子やマイクロ部品などを限られた領域内で長ストロークかつ高精度に位置決めできるものとして，本研究ではストローク±1mmの長ストロークＸＹマイクロステージの開発を行った．このステージではインパクト駆動機構の駆動子に磁石を用いて機構のシンプル化と駆動の安定化を実現し，また薄膜歪ゲージを一体化した板ばね案内機構の開発によって駆動の高精度化を行っている．本報ではステージの設計と試作について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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