弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構 第４報，一体化ヒンジ機構の構成

深田 茂生; 松田 智明; 青山 幸弘

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.475.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: F73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.475.0

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主催: 社団法人精密工学会

弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構

第４報，一体化ヒンジ機構の構成

*深田茂生, 松田智明, 青山幸弘

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キーワード: 位置決め, 弾性案内, リニアモータ, ミリストローク

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抄録

前報までに，複合板ばね機構を用いたX-Y-Yawの３自由度平面位置決め機構を構成し，ミリストロークにわたってナノメートルレベルの位置決めと連続軌跡制御が可能であることが実証された．しかし多数枚の板ばねをねじ締結する構造であるため，組立誤差による各軸間の干渉が障害となっていた．そこで新たにワイヤカット放電加工による一体化ヒンジ機構を設計製作し，位置決め機構の基本性能について実験により検討している．

責任著者(Corresponding author)

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