並進機構を用いた積層型圧電アクチュエータの位置決め性能

抄録

重力方向または水平方向に配置され、大きな質量を可搬しながら高速で高精度な位置決めを実現するアクチュエータは、潜在的に高い要求がある。数十ミクロンメートルの動作範囲に限定すれば、積層型圧電素子を応用することでより高い共振周波数を実現することが可能となる。本報告では、積層型圧電素子の推力により正確な直線動作を実現する並進機構を応用した直動型アクチュエータを提案し、高速性と位置決め精度について報告する。