ペルチェモジュールによりモータ冷却する精密位置決め装置の熱変形ドリフトの低減

抄録

モータとボールねじを組み合わせたオープンループ制御の位置決め装置では、モータが主熱源となって、ボールねじを含めた装置全体が複雑な熱変形を起こして、ステージの位置決め精度に大きな影響を及ぼす。本研究では、他の方法に比べて安価で省スペースですむペルチェモジュールによりボールねじ直結のモータを室温近くまで冷却すると、装置全体も冷却されて、熱変形ドリフトが低減されることを示す。