転がり案内機構の非線形微細運動を利用した位置決め整定時間の短縮

抄録

台形速度指令の位置決めの整定時間を短縮する方法と実験結果を述べる。通常の位置制御（粗動）のゲインに対し、微小距離の運動（微動）ではゲインを１０倍以上大きくでき、応答を速くできる。微動領域に速く到達させるために、台形速度指令の減速時間を延長し、指令を与え続ける。位置偏差が１０μm以内になったら目標位置を指令とする微動制御に切り替える。実験の結果、位置決め整定時間が約１/１０と大幅に短縮できた。